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实现超精密加工的基本条件

文章作者:ownpowerkefu 发表时间: 浏览次数:

[导读:]实现超精密加工的基本条件
实现超精密加工的基本条件

实现超精密加工基本条件:

为了能实现超精密加工并获得预期的加工成果,必须具备下述基本条件:

被加工工件的材质要密实;各向的同一性要好(最好为单晶);表层硬度和弹性模量要恒定一致;可加工性要好;质料的化学成份与机器物理性能对准则值的偏差不应超过0.1百分比。

选用的超精密加工手工制作方法要与被加工质料相匹配。 诸如,有色金属质料(如铜、铝合金)宜用单点金刚石刀具进行车削或铣削加工;玄色金属质料(如钢等)则宜选磨削与研、抛等手工制作,否则得不到预期的加工成果等。

加工环境要严格恒温、隔振和净化。恒温室(第一分隔区)中的温度波动不得大于±0.1°C;加工区(第二分隔区)中则不应超过±0.01°C;环境的相对湿度要保持在40百分比±10百分比以内;大气压力(如用激光丈量仪时)应保持1MPa±0.1百分比;机床地基的隔振系统固有频率<2Hz;加工区的净化度应为每立方英尺中大于0.1μm的微粒含量应未几于10颗。

具有能实现纳米级(1nm ~10nm)增量进给的机床和分辨力优于0.1nm的丈量设备,如激光干涉仪,扫描隧道显微镜和原子力显微镜等。

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